（1）       FeCL3濃度對蝕刻速度的影響：FeCL3蝕刻液中隨著FeCL3濃度的增高，蝕刻速度加快。當所含F(xiàn)eCL3超過某一濃度時，由于溶液黏度增加，蝕刻速度反而有所下降。

（2）       鹽酸的添加量對蝕刻速度的影響：在蝕刻液中加入鹽酸，一則可以抑制FeCL3和CuCL2的水解;二則可提高蝕刻速度。特別是當蝕刻液中銅含量達到37.4g/L后，鹽酸的作用更加明顯。

（3）       溫度對蝕刻速度的影響：在FeCL3蝕刻工藝中，隨溫度的增加，蝕刻速度亦加快，比如當溫度在50度時，全新蝕刻液對銅的蝕刻速度可達10um/min。但在實際生產(chǎn)中，都是采用常溫蝕刻方法。FeCL3對銅的蝕刻是一個放熱反應，隨著蝕刻的進行，蝕刻液溫度會逐漸升高，蝕刻速度加快。隨著FeCL3的消耗，蝕刻速度下降。同時這一溫升過程比較緩慢，所以在整個蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。

（4）       攪拌對蝕刻速度的影響：靜止蝕刻的速度和蝕刻質量都是比較差的。這是因為在蝕刻過程中，一方面被蝕刻銅表面和蝕刻液中都會有沉淀生成，影響了銅的正常蝕刻；另一方面，銅在蝕刻過程中，被蝕刻表面的溶液會逐漸呈現(xiàn)暗綠色，這表明在補被蝕刻表面的FeCL3已跟銅表面發(fā)生了還原反應而失去了氧化能力。

 

            cu+FecI，一cucl十Fe~：1，    (5  41)
cucl離子具有還原性，和腐蝕液葉J的Fe¨進一步反應生成cucl，。
    Cucl+FeCl、一(：ucl2+FeCl 2    (5—42)
生成的cucl2具有氧化性，同樣會與銅發(fā)生氧化還原反應。
    cu+c∞12——2cucl    (5—43)
FeCl3蝕刻原理結論：FeC：l，蝕刻液是依靠Fecl，和cucl：同時完成的。其中n¨的氧化能力強，蝕刻速度快．蝕刻質量好。相對而言，cucI2在這里蝕刻速度較世，蝕刻質量差，隨著蝕刻液中Fe3的消耗和cuCL2的增大而使蝕刻速度逐漸減慢，并使蝕刻質量惡化。當Fe3消耗量達50％時，蝕刻速度及蝕刻質量都將不利于繼續(xù)進行蝕刻過程．而應更換蝕刻液。
    在實際生產(chǎn)中，表示蝕刻液的蝕刻效能不是片F(xiàn)e3的消耗量來衡量，而是采用蝕刻液中銅的溶解量(單位為昏g/l)來衡量。銅在FeCl3蝕刻溶液中，最初蝕刻速度是恒定的。然而，隨著蝕刻液中Fe¨的消耗，蝕刻液中銅含量不斷升高，當溶銅量達到60g／L時，蝕刻速度會變慢，當蝕刻液中Fe3消耗達到40％時或溶銅量達到83g/L時，蝕刻速度會急劇下降，此時的蝕刻液不能再繼續(xù)使用，而應考慮蝕刻液的再生或更新。
    通常使用的FeCl 3蝕刻液酸度都不高，所以FecL3蝕刻液在蝕刻銅時，也伴有FeCl，和CuCI，的水解副反應：
    Fecl，+3H：O—Fe(OH)3 J+3HCI    (5 44)
    cucl2+2H20一cu(on)2 +2HC：l    (5 45)
    生成的氯氧化物不穩(wěn)定，受熱易分解牛成相應的氧化物和水，這些氧化物一部分沉淀在蝕刻槽底部形成黃土樣沉積物，一部分懸浮于蝕刻液中，對抗蝕層產(chǎn)生一定的破壞作用。
    2Fe(OH)，一Fe202+3H3O    (5—46)
    cu(OH)2—cuO +H2O    (5 47)